اتاق تميز ميتواند فضاي بسيار بزرگي باشد بطوريکه گاهي اوقات تمامي يک کارخانه با هزاران متر مربع مساحت ميتواند در سوله هايي با فضاي تعريف شده.
اتاق تميز و زمينهاي پوشيده شده با کف پوش مخصوص اينگونه اتاقها ساخته شده باشد.
اتاقهاي تميز معمولاً براي توليد مواد نيمه رسانا مانند ژرمانيوم، سيليکون و يا براي توليد لوازم تکنولوژيک پزشکي و
زمينههاي ديگر که توليدات مربوط به آنها نياز به محيطي بسيار پاکيزه و فاقد آلودگيهاي عادي محيط دارند